MEMS/モジュール/PCB協調設計、
高精度の半導体微細設計を実現
MEMS 技術の発展に伴い、各種センサーやSAW フィルター、それらを含む複合モジュールなど、多様なMEMS 製品が普及しています。これらMEMS 製品設計の専用ソリューションとして、図研は新製品MEMS Designerをリリースしました。
半導体上に形成するMEMS の複雑な物理形状設計の編集機能ばかりではなく、MEMS本体/メカ部品/パッケージ/PCBを含むモジュール全体の設計最適化を支援するMEMS Designerのコンセプトや特長、今後の機能強化予定などをご紹介します。
【講演資料】CR-8000 MEMS Designer
最新MEMS設計システムとMEMS/パッケージ/PCB協調によるモジュール設計の革新
「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2024」での講演に用いた最新版です。